Увеличение срока службы многослойных керамических нагревателей


ЗАКАЗАТЬ ТЕСТОВЫЙ ПОИСК
Характеристики
Категория:
Электротехника
Описание проекта

До недавнего времени в качестве резистивного нагревателя использовался такой тип, который формируется путем намотки и скрепления проволоки или фольги с высокой температурой плавления из таких материалов, как молибден или вольфрам. После помещают на подложку электрическую изоляционную керамическую пластину или нагреватель резистивного типа и спекают в виде теплопреобразователя. В подложку в процессе производства добавляют спекающий агент, что может стать причиной загрязнения примесями и, следовательно, снижения коррозийной стойкости во время нагрева. Кроме того, возникает проблема с точки зрения устойчивости к термическому удару, поскольку керамическая опорная подложка представляет собой спеченную структуру. При работе нагревателя также в результате протекания тока нагревается фидерный терминал, что снижает срок его службы. Также по причине неравномерного спекания при процессе производства есть вероятность образования трещин в подложке. Немаловажным требованием является возможность использования нагревателя в процессах, которые требуют резкого повышения или понижения температуры.

Лого ShinEtsu.jpg

Изобретение, раскрытое в патенте US20180124873 японской компании SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD представляет собой решение по созданию улучшенного многослойного керамического нагревателя резистивного типа.

Для решения поставленных задач авторы изобретения предлагают многослойный керамический нагреватель резистивного типа, образованный путем соединения подложки, которая изготовлена из пиролитического нитрида бора (PBN) термохимическим осаждением паров (термо-CVD), тепловыделяющего слоя, изготовленного из пиролитического графита (PG) путем термо-CVD, теплогенерирующего слоя, состоящего из покрытых тонких плотных защитных слоев, выполненных из того же материала, что и подложка.

Кроме того, поскольку все составляющие элементы данного многослойного керамического нагревателя изготовлены термо-CVD, составляющие элементы не имеют границы зерен, которая наблюдается в спеченной керамике, образованной спекающим порошком. Структура плотно упакована и не имеет газовые включения. По этой причине многослойный керамический нагреватель также используется как нагреватель, который не влияет на степень вакуума в процессе вакуумирования.

 pdf.png Полный текст патента можно скачать здесь

Хотите знать больше? Закажите бесплатный тестовый патентный поиск по интересующей вас теме.

В ответ на запрос вы получите:
  • Количество патентов в мире за 10 лет
  • Динамика патентования по годам и странам
  • Перечень технических задач, решаемых в патентах
  • Примеры компании и их новейших разработок
Скачать пример отчета вы можете здесь 
Заказать патентные исследования можно здесь
Получить патент на свое изобретение здесь